TOMBO No.9501-H/-HS
クリスタルH/クリスタルHスーパー
クリスタルH/クリスタルHスーパー
TOMBO No.9501-H/-HS
クリスタルHは、純度の高い透明石英ガラスを薬液槽に使用し、その側面全てと底面に特殊な面状ヒータを貼り付けた恒温槽です。
常温から最高使用温度200℃までの広範囲にわたり、安定した液温コントロールが可能です。
面状ヒータの最高使用温度は、200℃と300℃ (クリスタルHスーパー)の2種類があり、特に昇温スピードの速い"クリスタルHスーパー"は窒化膜除去工程のリン酸洗浄に最適です。また、外装にPVDF(ふっ化ビニリデン樹脂)を使用したタイプは、外部雰囲気や薬液の飛散による損傷がありません。
特長
石英槽の全面に面状ヒータを貼り付けた構造であるため、多くの特長があります。
・加熱昇温が速い。
・温度制御が正確です。
・温度分布が均一です。
・槽の内部を広く使えます。
・外部より槽を加熱するため、汚染がありません。
・安全性に優れています。
※ただし、リン酸150℃以上の液体では石英と反応 (腐食)します。
その他
- 本製品は個別に設計する製品のため、当社営業にご相談ください。
- 本製品に使用する石英槽は、原則としてお客さまにてご用意ください。
- 「TOMBO」はニチアス（株）の登録商標です。
- 禁止事項、注意事項はカタログ「半導体・FPD関連製品」をご参照ください。
