TOMBO No.2670-FSP6-S
ゴムOリング プラズマX-F6アルファ
ゴムOリング プラズマX-F6アルファ
TOMBO No.2670-FSP6-S
プラズマX-F6アルファは、液晶製造におけるプラズマCVD、プラズマエッチング装置のシールに最適な耐プラズマ性、純粋性、物理的特性に優れたOリングです。 プラズマ環境下での重量減少、クラック発生、パーティクル発生が少なく、圧縮永久ひずみが小さいOリングです。
特長
- 耐熱目安：200℃
- 標準硬度(Duro A)：75
- プラズマ環境下でのクラックおよびパーティクル発生が少ないです。
- 長期圧縮永久ひずみが小さく、長期間安定したシール性が期待できます。
用途
- 液晶用プラズマエッチング装置、液晶用プラズマCVD装置、洗浄装置の固定部シール
その他
- 「TOMBO」はニチアス（株）の登録商標です。
