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高機能ゴム０リング

耐薬品性、非粘着性、純粋性、耐プラズマ性などに優れ、半導体製造装置、液晶パネル製造などに使用される高機能ゴムＯリングです。

ウェットプロセス用ゴムOリング

リソグラフィー、洗浄、ウェットエッチングなどのプロセスで使用されるゴムOリングは、耐薬品性、純粋性はもとより、用途によっては耐オゾン性、非粘着性なども必要になっています。

活用する 特性 製品名 色調 耐熱 目安 耐薬品性 純粋性 （溶出金属） 非粘着性 耐油 耐酸 耐アルカリ 耐溶剤 耐オゾン 耐薬品性 パーフロPF 黒 200℃ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ○ ふっ素ゴムFB 黒 200℃ ◎ ◎ ○ ○ ○ ◎ ○ 耐オゾン性 パーフロPF 黒 200℃ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ○ ピュアラバー 透明 150℃ ◎ ◎ ○ ○ ◎ ◎ △ 非粘着性 フロロプラス 黒 200℃ ◎ ○ △ △ △ △ (Mg、Ca) ◎ 汎用品 ふっ素ゴムFA 黒 200℃ ◎ ○ △ △ △ △ (Mg、Ca) ○ 評価記号の読み方：◎、○、△の順に最適から不適になります。ただし、本表の評価は目安であり、個別の用途について保障するものではありません。